| 用途 |
●各種顕微鏡への組み込み、精密計測、半導体検査装置、高精度マスク位置決め、走査型干渉計、画像処理装置、バイオ関連装置等々の用途に最適です。 |
| 商品説明 |
- デジタルセンサを採用することにより、高精度・高剛性・ハイスピードを追求し、理論分解能1nmの微動を実現するピエゾステージです。
- アクチュエータにピエゾ素子と位置フィードバックにデジタルセンサを搭載した、50×50mmの開口部を持つ超高精密位置決め透過型XYステージで、顕微鏡下での試料の微動に適しています。
- シグマファインステージ用コントローラFINE-503で駆動することが出来ます。コントローラがRS232C、GP-IB(FINE-503のみ)、USBインターフェイスに対応しておりますので、PCから計測・制御ソフトのSGADVANCEおよびSGSFSXを使うことにより簡単に位置制御することができます。
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| 商品スペック |
- 移動量(オープン制御時)(μm)：100±10%
- テーブル面サイズ(mm)：120×120
- アクチュエータ：ピエゾアクチュエータ
- 質量(kg)：1.2
- 理論分解能(オープン時)(nm)：1
- 分解能(クローズ時)(nm)：10
- リニアリティ(%)：-
- 垂直度(水平方向)(μm)：1以下
- 繰返し位置決め精度(μm)：0.1以下
- 耐荷重(N)：19.6(2.0kgf)
- 微小変位センサ：デジタルセンサ
- 対応ケーブル：FINE-CA-3(ピエゾ用)/DS1-CA-3(デジタルセンサ用)
- 規格：RoHS
- 認証：CE
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| 注意事項 |
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| 内容品・付属品 |
●六角穴付ボルト(M4×8)×4本 |
| 原産国 |
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| 特記事項 |
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