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型番 |
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| LSM-500S 544-531 | |
| LSM-501S 544-533 | |
| LSM-503S 544-535 | |
| LSM-506S 544-537 | |
| LSM-512S 544-539 | |
| LSM-6200 544-071 | |
| LSM-9506/ワブンM 544-114 |
| 測定範囲(mm) | 最小表示量(μm) | 繰返し精度(μm) | 直線性(μm) | レーザ走査回数(回/秒) | レーザ波長(nm) | レーザ走査速度(m/s) | 使用環境 温度(℃) | 使用環境 湿度(%RH) | 適用 |
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