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型番 |
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SJ-210/0.75MN 178-564-11 | |
SJ-210/4MN 178-564-12 | |
SJ-210/0.75MN 178-564-01 | |
SJ-210/4MN 178-564-02 |
測定範囲(mm) | 測定力(mN) | 分解能(μm) | スタイラス先端形状 | パラメータ |
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5.6[X軸]/0.36(-0.2~+0.16)[検出部] | 0.75 | 360/0.02、100/0.006、25/0.002(検出部) | 2μmR 60° | Ra/Rc/Ry/Rz/Rq/Rt/Rmax/Rp/Rv/R3z/Rsk/Rku |
5.6[X軸]/0.36(-0.2~+0.16)[検出部] | 4 | 360/0.02、100/0.006、25/0.002(検出部) | 5μmR 90° | Ra/Rc/Ry/Rz/Rq/Rt/Rmax/Rp/Rv/R3z/Rsk/Rku |