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（株）ナベヤ高性能エアーマウント AMG

（株）ナベヤ

高性能エアーマウント AMG

●【使用圧力範囲】0.1～0.4(Mpa)【固有振動数】水平1.5Hz、鉛直2.5Hz以下【特長】●ハイダンピング機構により揺れをすばやく減衰●特殊水平機構により優れた除振性能を発揮●全シリーズ全て同じ高さで統一●オートクリーニング機能により偏荷重に対応可能●クリーンルーム対応可能（集中排気：オプション）●過大浮上防止機構付【用途】●電子顕微鏡用（走査型・透過型顕微鏡）●半導体製造装置、検査装置（ステッパー・FIB装置）●化学分析機器（薄膜硬度計・磁気共鳴装置）●各種精密検査・測定機・ステージ

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	AMG070
	AMG100
	AMG200
	AMG500
	AMG800

許容荷重(N)	摩擦係数 η	バネ定数(N/mm)	表面処理	質量(g)
～4116(4マウント)
～7154(4マウント)
～12740(4マウント)
～29400(4マウント)
～46060(4マウント)

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